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半導体製造装置

半導体製造装置とは、半導体を製造されるために用いられる装置のことであり、言い換えれば半導体デバイス
を作るためのツールのことです。
半導体製造装置にもじつに様々な種類があります。例えば材料膜を形状加工する装置、微量不純物を添加
する装置、組立装置、検査装置などの装置があり、その加工にはマイクロメートル、ナノメートルレベルの精度
がい必要とされています。このような微細な半導体を加工するには、人の手で行うことは不可能であり、専用
ツールが必要となります。
半導体デバイスのこれまでの進歩は製造技術、加工技術の進歩は製造技術、加工技術の進歩と量産化を
可能にするツール「半導体製造装置」の進歩によって達成されてきました。

半導体製造装置 制御盤とは

制御盤とは、機械や電気機器の操作を、自動または手動でで制御するために必要な制御機器を取り付けた
盤のことです。300mmくらいの物から2100mmを超える物まで、幅広く使用されている制御盤ですが、用途に
よってそのサイズも異なり制御盤に取り付ける制御機器だけでもかなりの機器(遮断器・開閉器・保護装置・
継電器・リレー・PLC等)が存在します。
いろいろな機器を組み合わせスイッチやセンサーの信号を取り込んで、機械や装置のモーターや電磁弁等に
電気を供給し駆動させ、他の装置へ信号を受渡したりします。

半導体製造装置 制御盤によくあるトラブル事例

機器の型式間違えによるトラブルについて

機器の型式間違えによるトラブルは型式(類似品)による見間違いや思い込みによる取り付け間違いが主に発生。
それに対して組立工程に組立による見間違いで取り付けてしまう要素等が隠れていないかの打ち合わせを行い、
その中で注意点がある場合は、図面上にコメントを記入し組立最終チェックは、品質チェックシートの項目に合わせてチェックすることにより機器の型式間違えのトラブルを回避します。

配線・実装によるトラブルについて

主に誤配線・振動による断線トラブルが発生することがあります。そのため、誤配線防止対策として、制御盤配線工程後の導通検査では、品質チェックシートを作成し項目に沿ってチェックしていくことにより、品質保証をしています。
振動トラブルは、制御盤装置を始動することにより、装置内でポンプ等の振動が発生し電線が擦れて断線の恐れが
あるため、電線保護チューブ(ホックチューブ)等を使用することや可動する電線を結束固定具に固定することで、
振動による断線トラブルを回避できます。

機器接続時の締め付けトラブルについて

電線を機器に接続する際、増し締めが作業者により締め付ける力にバラつきが生じるため、接続ビスの緩みが生じ、接触不良や火災を招くトラブルが発生する可能性があります。
そのため、接続ビスの締め付けトルク数値(メーカー推奨)によって締め付けることにより、バラつきをなくし品質保証的な問題も解決できます。

コンタクトの圧着不良トラブルについて

主に、コンタクトと圧着工具の選定ミス・圧着ポイント(圧着侵入個所)ミス、電線、(規格)とコンタクトの選定ミスにより、コンタクトが折れる・切れる・抜ける等が起きる断線トラブルが発生することがあります。圧着不良を発生させないために作業製作標準書を作成しそれを基に作業者に教育を行うことにより、圧着状態の良否の判別ができる
ようになります。ケーブルチェッカーによる検査を併せて行うことでトラブルを回避することができます。